CFD质转移模型进程垂直沉积槽 .N.Rizayev, K.A.Adilov, D. Q. Xushvaqtov并 Q.X.Ergashev E3SWeff.401(2023)03026 发布网络:2023年7月11日 DOI: https://doi.org/10.1051/e3sconf/202340103026