进程参数对反射面沉积物物理和机械参数的影响 瑞维塞哈尔, D. Govardhan, R Karthikeyan并 拉姆Subbaiah E3SWebff.,184(2020)01005 网络发布日期:2020年8月19日 DOI: 10.1051/e3sconf/202018401005