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卷积3942023
6线程资源探索环境科学国际专题讨论会 |
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文章号 | 01031 | |
页数 | 8 | |
多尔市 | https://doi.org/10.1051/e3sconf/202339401031 | |
在线发布 | 2023年6月2日 |
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39401031(2023)
最优控制技术实施原则减少半导体行业的温室气体
一号EUNCET商学院Catalunya理工大学
2设施工程和环境部AFPDPte有限公司,新加坡528798
3可持续性设计中国艺术学院杭州市31002
*对应作者 :yuanzhe001@e.ntu.edu.sg
气候变化发生速度比过去快得多,无法完全由自然原因来解释。人类,特别是人类活动产生的温室气体排放,是今日地球快速变化气候的主因作为温室气体排放最多的行业之一,半导体目前尚没有明确的指南指导在国内和海外半导体行业对多氟化复合物(FCs)、N2O和NF3温室气体实施重大减排法因此,本报告根据政府间气候变化专门委员会(IPCC)和老式排减法提出了最佳控制温室气体排放技术实施原则。减少法适合安装高效排气销毁设备从Etching薄膜中清除FCs和N2O,包括化学/物理蒸发沉降和半导体行业分解过程
关键字 :温室气体/温室气体减排/方法/半导体产业/天然气排减系统
必威西汉姆赞助2023年EDP科学出版
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